| 潔凈室標準規格說明（一） | |||
| 目前世界各國雖有自訂規格，但普遍還是采用美國聯邦標準209為多，今就209D及209E和世界上其他各國之所訂標準再做更進一步之介紹與相互比較。表1-1為美國聯邦標準209D之潔凈室規格。 | |||
表1-1 美國聯邦標準209D潔凈室規格
|
潔凈室等級（Class) |
微塵粒子 | 壓力 | 溫度 | 風速與換氣率（次/hr) | 照度lux | ||||||
| 粒子大小um | 粒子數目Particles/ft3 | mmAg | 值域℃ | 推薦值℃ | 誤差值℃ | 大MAX% | 小MIN% | 誤差% |
層流方式0.35~0.55 m/s |
1080
~ 1620 |
|
| 1 | ≧0.5 | ≦1 |
＞1.3 |
19.4~25 |
22.2 | ±2.8
特 殊 需 求 ±1.4 |
45 | 30 | ±10
特 殊 需 求 ±5 |
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| ≧5.0 | 0 | ||||||||||
| 10 | ≧0.5 | ≦10 |
|||||||||
| ≧5.0 | 0 | ||||||||||
| 100 | ≧0.5 | ≦100 |
|||||||||
| ≧5.0 | ≦1 | ||||||||||
| 1000 | ≧0.5 | ≦1000 |
亂流方式≧20 次/hr |
||||||||
| ≧5.0 | ≦10 | ||||||||||
| 10000 | ≧0.5 | ≦10000 |
|||||||||
| ≧5.0 | ≦65 | ||||||||||
| 100000 | ≧0.5 | ≦100000 |
|||||||||
| ≧5.0 | ≦700 | ||||||||||
| 至于209E和209D等大之不同點在于209E表示單位增加了公制單位，即潔凈室等級以“M”字頭表示，如M1、M1.5、M2、M2.5、M3......依此類推，其目的在于配合國際公制單位之標準化。M字母后之阿拉伯數目字是以每立方公尺中≧0.5um之微塵粒子數目字以10的冪次方表示，而取指數為之；若微塵粒子數介于前后二者完全冪次方之間（即非整數，則以1.5、2.5、或3.5......等表示之。表1-2即為1992年9月新頒布之聯邦標準209E之內容，前述之M字母后的數字，可從表中0.5um列的數值中求出，讀者可試算之。 |
表1-2 美國聯邦標準209E
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潔凈度等級 |
微塵粒子 |
||||||||||
|
0.1um |
0.2um |
0.3um |
0.5um |
5um |
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單位 |
單位 |
單位 |
單位 |
單位 |
|||||||
|
公制 |
英制 |
(m3) |
(ft3) |
(m3) |
(ft3) |
(m3) |
(ft3) |
(m3) |
(ft3) |
(m3) |
(ft3) |
|
M1 |
|
350 |
9.91 |
75.7 |
2.14 |
30.9 |
0.875 |
10.0 |
0.283 |
- |
- |
|
M1.5 |
1 |
1240 |
35.0 |
265 |
7.50 |
106 |
3.00 |
35.3 |
1.00 |
- |
- |
|
M2 |
|
3500 |
99.1 |
757 |
21.4 |
309 |
8.75 |
100 |
2.83 |
- |
- |
|
M2.5 |
10 |
12400 |
350 |
2650 |
75.0 |
1060 |
30.0 |
353 |
10.0 |
- |
- |
|
M3 |
|
35000 |
991 |
7570 |
214 |
3090 |
87.5 |
1000 |
28.3 |
- |
- |
|
M3.5 |
100 |
- |
- |
26500 |
750 |
10600 |
300 |
3530 |
100 |
- |
- |
|
M4 |
|
- |
- |
75700 |
2140 |
30900 |
875 |
10000 |
283 |
- |
- |
|
M4.5 |
1000 |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
35300 |
1000 |
247 |
7.00 |
|
M5 |
|
- |
- |
- |
- |
- |
- |
100000 |
2830 |
618 |
17.5 |
|
M5.5 |
10000 |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
353000 |
10000 |
2470 |
70.0 |
|
M6 |
|
- |
- |
- |
- |
- |
- |
1000000 |
28300 |
6180 |
175 |
|
M6.5 |
100000 |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
3530000 |
100000 |
24700 |
700 |
|
M7 |
|
- |
- |
- |
- |
- |
- |
10000000 |
283000 |
61800 |
1750 |
|
美國聯邦標準FS 209D 都以英制每立方英尺為單位，而日本則是采用公制，即以每立方公尺為單位；另外209D與日本JIS（B9920-1989）標準中另一不同點為209D是以0.5um之粒子數為計數基準，而日本則以0.1um微粒子為計數標準。日本標準之表示法是以Class1,Class2,Class3,......Class8表示，即好之等級為Class1,差則為Class8,表1-3為日本JIS（9920-1989）之標準規定的粒子上限數（個/m3）。其Class1，Class2...之數目字以0.1um粒子為基準，而以每立方公尺中微塵粒子總數中化為10之冪次方，取其指數而得。 |
表1-3 日本JIS（9920 ~1989）標準
| 粒徑級數 | Class1 | Class2 | Class3 | Class4 | Class5 | Class6 | Class7 | Class8 |
| 0.1 | 101 | 102 | 103 | 104 | 105 | 106 | 107 | 108 |
| 0.2 | 2 | 24 | 236 | 2，360 | 23，600 | - | - | - |
| 0.3 | 1 | 10 | 101 | 1，010 | 10，100 | 101，000 | 1，010，000 | 10，100，000 |
| 0.5 | - | - | 35 | 350 | 3，500 | 35，000 | 350，000 | 3，500，000 |
| 5.0 | - | - | - | - | 29 | 290 | 2，900 | 29，000 |
| 資料來源：Clean Room Technology By Crystal Cs. The Nederlands |
| 潔凈室標準規格說明（二） | |||
| 在德國工業及醫學等之多數領域中，潔凈室是為相關產業界所重視和期望發展之技術，因此在1967年完成了德國的潔凈室規格，在德國規格中潔凈室等級之表示法與美國規格不同，其表示法是以4*10”的形式表示粒徑0.5um以上之粒子數，而以其中之指數n規定等級，如4*103 即表示等級為3，此等級與美國聯邦規格Class100想近似。表1-4為德國規格所容許之粒子數與美國、法國、近似等級之表示。 | |||
表1-4 德國規格表
| 等級 | 微塵粒徑(um) | 與別國等級比較 | |||
| 0.5 | 1 | 5 | 美國 | 法國 | |
| 3 | 4*103 | 1*103 | - | 100 | 4000 |
| 4 | 4*104 | 1*104 | 0.03*104 | - | - |
| 5 | 4*105 | 1*105 | 0.03*105 | 10000 | 400000 |
| 6 | 4*106 | 1*106 | 0.03*106 | 100000 | 4000000 |
|
表1-5為美國聯邦標準209D標準粒子之數目上限值（個/ft3）（以0.5u粒子為依準）。由于美國與日本之規格中所表示之單位分類不同，為讓使用人員有一快速之獲知二者之相近標準等級，以期運用于工作上，故有必要將二者之間做一潔凈度級別之換算，如表1-6 |
表1-5 美國209D規定粒子數（上限值）
| 等級 | Class1 | Class10 | Class100 | Class1000 | Class10，000 | Class100，000 |
| 0.1 | 35（1，225） | 350（12，250 | - | - | - | - |
| 0.2 | 7.5（263） | 75（2，630） | 750（26，300） | - | - | - |
| 0.3 | 3（105） | 30（1，050） | 300（10，500） | - | - | - |
| 0.5 | 1（35） | 10（350） | 100（3，500） | 1000（35，000） | 10，000（350，000） | 100，000（3，500，000） |
| 5.0 | - | - | - | 7 | 70 | 700 |
| *（）內之數值單位：個/M3。 |
表1-6 美日潔凈度級別換算
| 日本 | 美國 |
| 級別3 | Class 1 |
| 級別4 | Class 10 |
| 級別5 | Class 100 |
| 級別6 | Class 1000 |
| 級別7 | Class 10000 |
| 級別8 | Class 100000 |
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除了美國、日本、德國、之潔凈室標準外，世界上尚有英國、法國、澳洲及韓國、中國大陸之規格，表1-6即為世界各國潔凈度等級規格之比較。 |
表1-6 世界各國潔凈度等級規格表
| 國名 | 美國 | 美國 | 日本 | 英國 | 德國 | 法國 | 澳洲 | 韓國 | 中國大陸 |
| 規格 | FS209D | FS209E | JIS B 9920 | BS 5295 | VDI 2083 | AFN 4410 | AS 1386 | KS | QJ2214 |
| 年度 | 1988 | 1992 | 1989 | 1989 | 1990 | 1981 | 1989 | 1991 | 1991 |
| 基準粒子(um) | 0.5 | 0.5 | 0.1 | 0.5 | 1 | 0.5 | 0.5 | 0.3 | 0.1 0.5 |
| 單位 | pcs/ft3 | pcs/M3 | pcs/M3 | pcs/M3 | pcs/M3 | pcs/M3 | pcs/M3 | pcs/M3 | pcs/M3 |
| Class | - | - | 1 | - | - | - | - | M1 | 0.1um ~1 |
| - | M1 | 2 | - | 0 | - | - | M10 | 0.1um ~5 | |
| 1 | M1.5 | 3 | C | 1 | - | 0.035 | M100 | 0.1um ~10 | |
| 10 | M2.5 | 4 | D | 2 | - | 0.35 | M1000 | 1 | |
| 100 | M3.5 | 5 | E or F | 3 | 4,000 | 3.5 | M10000 | 100 | |
| 1000 | M4.5 | 6 | G or H | 4 | - | 35 | M100,000 | 1,000 | |
| 10,000 | M5.5 | 7 | I | 5 | 400,000 | 350 | M1,000,000 | 10,000 | |
| 100,000 | M6.5 | 8 | J | 6 | 4,000,000 | 3500 | M10,000,000 | 100,000 | |
| - | M7 | - | K | 7 | - | - | - | - | |
| - | - | - | L | - | - | - | - | - |
| *以0.5um為區別。 |
| 資料來源：Clean Room Technology By Crystal Cs. The Nederlands |
